表面污染測量儀用于直接測量的表面污染測量儀要能夠探測低于規程限值水平的污染。測量時，探測器要盡可能靠近表面移動，一旦探測到污染，探測器應在該區域定位測量足夠時間，以確認污染水平。

 

　　表面污染測量儀對被檢測對象表面可以看得見的污物或氧化物在不能去除的情況下，要考慮對污染源效率的影響。在表面不是很平整的情況下，要評估檢測對象表面形狀對儀器效率的影響。

 

　　為了準確測量總的表面活度，現場監測儀器要經過適當刻度。刻度源應選擇其發射的α或β輻射與現場污染物預期的輻射能量相似。有代表性的刻度源要用現場被評估的放射性材料制備。

 

　　表面污染測量的基本要求是及時發現是否有污染，確定污染點位和范圍，并給出污染區域內污染核素的量值。常用的表面污染監測儀器是便攜式的和車載式的，更先進的表面污染監測管理系統也已經開發，用的是位置靈敏探測器，它不僅可以準確給出污染點位，同時還可在顯示屏幕上三維顯示污染圖像和量值。表面污染監測的對象主要是發射α、β或γ的核素，測量方式有α污染測量，β污染測量，α/β污染測量，α/γ污染測量。

 

　　表面污染可以用直接測量、掃描測量和間接測量確定。直接測量是用監測儀器進行，可以測量固定污染，也可測量松散污染；測量時，以適當距離在待測對象的上方放置探測器，按預定時間間隔測量并記錄讀數。

 

　　對一些不能活動的固體或者貯存有液體的表面，或者有高本底影響，或者測量儀器不能靠近表面，直接測量是困難的，甚至是不可能的。此時只能采用間接測量方法。